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這些電容式傳感器采用陶瓷濕度傳感器技術,采用薄膜技術。該傳感器依賴于夾在兩個導電層之間的多孔絕緣層對水蒸氣的吸附。
水分子進入多孔絕緣體部分改變了頂部多孔導電層和底部導電層之間的電容。
該電容量(電容)被檢測為水量,并通過傳感器內部的數(shù)字處理作為線性輸出輸出。
該傳感器的陶瓷絕緣層厚度小于0.5微米,頂部多孔導電層厚度為0.1微米,使其能夠對水蒸氣含量的微小變化做出快速響應
。盡管傳感器很薄,但它堅固耐用。
由于上層是濺射在作為底層的陶瓷基底上,因此可以保持每層的均勻性,從而確保穩(wěn)定的測量。
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