Signatone四點(diǎn)探針與電阻率測(cè)試設(shè)備的介紹
五十多年來，Signatone為晶圓探測(cè)提供了一系列卓的越的分析探針臺(tái)，在降低成本的同時(shí)提高了工藝性能。配件包括顯微鏡、熱控制系統(tǒng)、軟件和各種探針。
毫米波晶片上射頻探測(cè)
支持高達(dá)1.1 THz的頻率兼容是德科技-安捷倫、安立訊、羅德與施瓦茨VNA公司、是德科技、安立訊、OMLabs、VDI、銅山和羅德與施瓦茨的頻率擴(kuò)展器。
電纜和波導(dǎo)接口，支持真正的3軸大面積定位
多測(cè)量-一個(gè)探針站
電流-電壓
電容電壓
溫度下的脈沖IV
完整的電阻率測(cè)量系統(tǒng)
報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)電阻率、電阻率標(biāo)準(zhǔn)偏差、平均薄層電阻和薄層電阻標(biāo)準(zhǔn)偏差。
TCR測(cè)量和雙重配置測(cè)試
自動(dòng)2D和三維輪廓測(cè)繪
在晶圓級(jí)表征大功率器件
“PowerPro”功率器件表征系統(tǒng)可對(duì)高達(dá)3 kV(三同軸)/ 10 kV(同軸)的功率半導(dǎo)體進(jìn)行安全、準(zhǔn)確的
過溫、低接觸電阻測(cè)量
更新時(shí)間：2024-05-30 
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