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日本asahi-spectra檢測儀光學(xué)式膜厚計OMD-1000従來の機(jī)種はフィルター式の波長選択でしたが、新制品は當(dāng)社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。膜厚変化の信號は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機(jī)構(gòu)はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。また膜厚計本體
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日本asahi-spectra檢測儀光學(xué)式膜厚計OMD-1000
日本asahi-spectra檢測儀光學(xué)式膜厚計OMD-1000
従來の機(jī)種はフィルター式の波長選択でしたが、新制品は當(dāng)社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。
膜厚変化の信號は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機(jī)構(gòu)はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。また膜厚計本體をI/Fによりパソコンと直結(jié)して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。
分光器搭載のコンパクトな設(shè)計
耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監(jiān)視を?qū)g現(xiàn)(靜電気放電試験耐圧±5kV)
PCからのコマンドにより自動制御可能
コントローラーを受光器本體に內(nèi)蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを?qū)g現(xiàn)
型式 | OMD-1000 |
分光器タイプ | ツェルニーターナー型シングルモノクロ |
波長范囲 | 保證范囲:380~900nm 動作可能范囲:350~1100nm |
波長分解能 | スリット0.5mm:4.2nm [546nm] スリット1.0mm:8.3nm [546nm] |
波長精度 | ±1.0nm |
最小波長送り | 0.1nm |
外部制御 | RS232C |
外部出力端子 | DC0~2V (フルスケール時) |
サンプリング間隔 | 100ms以上 |
靜電気放電試験耐圧 | ±5kV (実績8kV) |
光源 | 12V100W ハロゲンランプ |
光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
入力電圧 | AC100V 50/60Hz |
許容入力電圧 | AC85~132V |
皮相電力 | 340VA以下 |