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otsukael顯微鏡分光膜厚儀 紫外光譜儀

otsukael顯微鏡分光膜厚儀OPTM的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構(gòu)提高了測量精度。

  • 產(chǎn)品型號：OPTM
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2023-04-14
  • 訪  問  量：786
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otsukael顯微鏡分光膜厚儀OPTM的介紹

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產(chǎn)品信息

特征

  • 膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm（SiO 2換算）

  • 薄膜厚度值的高重復(fù)性

  • 每點1秒以內(nèi)的高速測量

  • 圖案可瞄準(zhǔn)微小點（最小Φ3μm）

  • 適用于圖案化晶圓的膜厚測繪

  • 可以獲取用于圖案對齊的圖像



除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構(gòu)提高了測量精度。



特征

  • 可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)

  • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

  • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

  • 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細(xì)分析

  • 通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性


測量項目

  • 橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量

  • 光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析

  • 膜厚分析


測量對象

  • 半導(dǎo)體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜，窒化膜
    SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
    レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)

  • 化合物半導(dǎo)體
    AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜

  • 光學(xué)薄膜
    TiO2，SiO2，反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価



otsukael靜態(tài)光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹



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