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otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀 紫外光譜儀

otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過(guò)使用顯微鏡光譜測(cè)量微小區(qū)域的絕對(duì)反射率來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。
各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無(wú)損、非接觸測(cè)量??梢赃M(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SF-3
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-04-14
  • 訪  問(wèn)  量:685
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otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹

otsukael光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的介紹




OPTM 是一種通過(guò)使用顯微鏡光譜測(cè)量微小區(qū)域的絕對(duì)反射率來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的設(shè)備。

各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等鍍膜、多層膜厚度的無(wú)損、非接觸測(cè)量。可以進(jìn)行1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量。此外,它配備了軟件,即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學(xué)常數(shù)。。

特征
  • 膜厚測(cè)量所需的功能集成在測(cè)量頭中

  • 使用顯微光譜法進(jìn)行高精度絕對(duì)反射率測(cè)量(多層膜厚度、光學(xué)常數(shù))

  • 每點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量

  • 實(shí)現(xiàn)顯微鏡下寬測(cè)量波長(zhǎng)范圍(紫外到近紅外)的光學(xué)系統(tǒng)

  • 區(qū)域傳感器安全機(jī)制

  • 一個(gè)簡(jiǎn)單的分析向?qū)В词故浅醮问褂玫挠脩粢部梢赃M(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

  • 配備可自定義測(cè)量順序的宏功能

  • 也可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)(多點(diǎn)分析法)

  • 300mm載物臺(tái)兼容



能夠從低亮度到高亮度進(jìn)行高速、高精度測(cè)量的光譜輻射亮度計(jì)。
使用電子冷卻線性陣列傳感器,的光譜設(shè)計(jì)和信號(hào)處理電路在寬亮度范圍和波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了低噪聲、高精度測(cè)量。

特征
  • 采用亮度和色度精度高的分光法(衍射光柵)
  • 能夠測(cè)量從0.005cd/m2的超低亮度到400,000cd/ m2的高亮度
  • 支持 CIE 推薦的寬波長(zhǎng)范圍(355nm 至 835nm)
  • 專有光學(xué)系統(tǒng)減少了偏光誤差 (<1%),
    可以高精度測(cè)量具有偏光特性的樣品,例如 LCD。
  • 包括通信時(shí)間在內(nèi),僅需 1 秒即可進(jìn)行高速測(cè)量。
    (在連續(xù)測(cè)量的情況下,最小為 20 毫秒/次,甚至可以更快地測(cè)量。)
  • 無(wú)需改變測(cè)量角度即可支持寬亮度范圍。(0.005cd/m 2至 4,000cd/m 2
    在2°的測(cè)量角度
  • 可以對(duì)頻率照明光源進(jìn)行高精度和穩(wěn)定的測(cè)量。
測(cè)量項(xiàng)目
- 輻射 (W/sr/m 2 )- 色域(NTSC 比例)*1
- 亮度 (cd/ m2 )- 反應(yīng)速度*2
- 色度坐標(biāo) xy  [符合JIS Z8724 ]- 亮度 (J) *3
- 色度坐標(biāo) U'V'  [符合JIS Z8781-5 ]- 亮度 (Q) *3
- 相關(guān)色溫- 飽和度 (s) *3
- CIE 顏色系統(tǒng) 2°/10°- 色度 (C) *3
- 三刺激值 XYZ- 色彩度(M)*3
- 偏差- 等效亮度值*4
- 光譜數(shù)據(jù)的四種算術(shù)運(yùn)算
- 光譜數(shù)據(jù)的功能處理
應(yīng)用
  • LCD、PDP、有機(jī)EL、大尺寸LED視覺(jué)等顯示器件的
    光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度、相關(guān)色溫測(cè)量

  • 照明光源(如燈)的光譜數(shù)據(jù)、亮度、色度和相關(guān)色溫的測(cè)量

  • 作為各種亮度和色度測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)

  • 物體的非接觸式顏色測(cè)量




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