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otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹
otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹
除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。 |
可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
通過創(chuàng)建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量
光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析
膜厚分析
半導體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學定數(波長分散)
化合物半導體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
光學薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価